Вакуумные тестеры

Основные типы и классификация вакуумных тестеров

Вакуумные тестеры классифицируются по принципу действия на манометрические, тепловые, ионизационные согласно ГОСТ 10770-64. Манометрические вакуумметры с мембранными чувствительными элементами измеряют давление в диапазоне 1-105 Па с классом точности 1,5-4,0. Цифровые вакуумтестеры с пьезорезистивными датчиками обеспечивают измерение 0,1 мбар - 1000 мбар с разрешением 0,001 мбар и точностью ±0,25%. Тепловые вакуумметры Пирани измеряют давление 10-2-105 Па по изменению теплопроводности газа с погрешностью ±30%. Ионизационные датчики работают в диапазоне 10-8-10-1 Па для сверхвысокого вакуума с чувствительностью до 10-11 Торр. Ведущие производители: российские "Теплоприбор", "Манотом", зарубежные Leybold, Pfeiffer, Edwards, Agilent. Портативные вакуумтестеры с автономным питанием обеспечивают 8-12 часов непрерывной работы с ЖК-дисплеем, памятью на 1000-10000 измерений, интерфейсами USB, Bluetooth для передачи данных.

Технические характеристики и диапазоны измерений

Профессиональные вакуумтестеры характеризуются диапазоном измерений 1 мкТорр - 1000 Торр (1,3×10-4 - 1,3×105 Па), разрешением 0,001 Торр, точностью ±0,1-1% от показания. Манометрические датчики работают в диапазоне 1-760 Торр с механическими указателями или цифровыми индикаторами класса точности 1,0-2,5. Емкостные датчики абсолютного давления обеспечивают измерения 10-5-1000 Торр с долговременной стабильностью ±0,02% в год. Термопарные датчики функционируют в диапазоне 10-3-10 Торр с временем отклика 0,1-1 с, рабочими температурами -20...+60°C. Комбинированные измерители объединяют 2-3 типа датчиков для покрытия диапазона 10-9-1000 Торр с автоматическим переключением каналов. Интерфейсы RS-232, RS-485, Ethernet позволяют интегрировать приборы в автоматизированные системы контроля. Калибровка выполняется по первичным эталонам давления с погрешностью не более 0,01% согласно МИ 2187-2012.

Области применения в промышленности и автосервисе

Автомобильная диагностика использует вакуумтестеры для проверки тормозных усилителей, впускных коллекторов, системы рециркуляции отработавших газов с рабочим вакуумом 400-600 мбар. Авиационная промышленность применяет прецизионные вакуумметры для контроля герметичности топливных баков, пневмосистем с требованиями утечки не более 1×10-4 мбар·л/с. Полупроводниковое производство требует измерения сверхвысокого вакуума 10-8-10-10 Торр в камерах напыления, ионной имплантации для обеспечения чистоты процессов. Пищевая промышленность использует вакуумтестеры для контроля упаковочных линий с рабочим вакуумом 950-990 мбар, сублимационных сушилок 0,1-1 мбар. Металлургия применяет приборы для контроля дегазации стали в вакуумных ковшах при давлении 1-10 мбар, вакуумной плавки специальных сплавов. Научные исследования требуют многоканальные системы мониторинга вакуума в спектрометрах, электронных микроскопах с точностью 0,1% и стабильностью показаний.

Калибровка и метрологическое обеспечение точности

Первичная поверка вакуумтестеров выполняется на государственном первичном эталоне единицы давления и вакуума ГЭТ 145-2011 с неопределенностью 5×10-6 в диапазоне 1-105 Па. Рабочие эталоны 1-го разряда обеспечивают поверку манометрических датчиков с погрешностью ±0,02% при давлениях 1-105 Па согласно ГОСТ 8.271-77. Молекулярные датчики калибруются методом статического расширения с использованием прецизионных объемов, откалиброванных микроманометров класса точности 0,005-0,02. Динамическая калибровка проточным методом применяется для датчиков высокого вакуума с использованием турбомолекулярных насосов производительностью 50-1000 л/с. Межповерочный интервал составляет 1-2 года для рабочих средств измерений, 6 месяцев для образцовых приборов 3-го разряда. Автоматизированные поверочные установки сокращают время калибровки с 4-6 часов до 30-60 минут при повышении воспроизводимости результатов в 2-3 раза.

Преимущества выбора на портале Росиндастри

На платформе представлены предложения от ведущих производителей вакуумного оборудования с гарантией качества и заводской калибровкой. Поставщики предлагают портативные и стационарные вакуумтестеры для всех диапазонов давления с техническим сопровождением, обучением персонала. Покупатели могут сравнить характеристики приборов по точности, диапазону, времени отклика от российских заводов "Вакууммаш", "Физприбор" и зарубежных Inficon, MKS, Oerlikon. Система тендеров позволяет получить оптимальные коммерческие предложения для оснащения лабораторий, производственных участков. Интегрированная логистика обеспечивает бережную доставку высокоточных приборов в заводской упаковке с контролем вибраций, температурного режима. Сервисная поддержка включает постгарантийное обслуживание, поверку в аккредитованных лабораториях, поставку запасных частей и расходных материалов.